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一种MEMS同振柱型仿生矢量水听器的研制 MEMS 同振柱型仿生矢量水听器 2014/4/22

本文提出了一种结合MEMS技术和仿生原理、压阻原理的同振柱型矢量水听器，即由二维仿生水听器和声压水听器组合而成的柱体。在声学理论基础上详细介绍了该水听器的封装设计及制作过程，该矢量水听器在国防水声一级计量站进行了校准实验，实验结果表明：该同振型矢量水听器的工作频带范围为0-3KHz； X通道灵敏度-177.9dB（2KHz），Y通道灵敏度-175.4dB（2KHz），声压通道灵敏度-175.8dB...