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基于SU-8胶的新型被动式微型阀
微机电系统 微流控 被动式微阀 SU-8
2014/3/17
为了在微流体控制系统中实现对流体流速的控制和流体的单向流动，借鉴人体心脏瓣膜的结构，设计了新型被动式微阀。选用SU-8作为被动式微型阀的结构材料，用ANSYS仿真了不同厚度（10，15，20 μm）的阀门膜片在不同压力作用下的挠度与应力，进而确定了合适的阀门膜片厚度。利用微细加工技术，集成加工了微型阀，并由此确定和优化了微型阀的加工工艺。用去离子水作为介质测试了微型阀的过流特性，在正向压力为11....
将SU-8光刻胶涂覆在经过表面处理的锥形光纤表面，其表面的环氧基与MPTMS（3-硫丙基三甲氧基硅烷）发生交联作用。TPTMS表面的-SH基与用种子溶液生长法制备的星形纳米颗粒形成很强的化学键AU-S（其能量为170kJ/mo1）。此外，我们还用这种光纤传感对不同浓度的酒精和甲胆紫溶液进行了透射谱测量。最后测试结果表明这种表面修饰了星形纳米颗粒的光纤传感对不同的物质和浓度非常灵敏，这种纳米光学传感...
The study of the good polishing method for polymer SU-8 waveguide
waveguides polishing SU-8 polymer rotational speed
2011/5/10
This research focused on polish characteristic of polymer based waveguides. The aim of the research was to show how polishing parameters affect the cut length of the end surface of SU-8 polymer on sil...