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搜索结果:
1-2
共查到
“
仪器科学与技术 MEMS芯片
”
相关记录2条 . 查询时间(0.081 秒)
中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种基于
MEMS芯片
的气敏材料快速筛选装置及方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
MEMS芯片
气敏材料
快速筛选
2023/12/5
本发明涉及一种基于
MEMS芯片
的气敏材料快速筛选装置及方法,所述装置由集成
MEMS芯片
、测试腔体、液晶操作屏、功能控制模块、ARM板卡、锂电池、气泵、充电插口、SD卡插槽、电源开关和外壳于一体机:
MEMS芯片
集成了多通道采集和自加热,为敏感材料提供检测基底和信号采集端口;测试腔体用于固定
MEMS芯片
并为其提供包括温度、气氛和光照可控及湿度可监测的测试环境;功能控制模块连接ARM板卡,用于为红外测温...
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所采用
MEMS芯片
气相原位T
EM
技术揭示氢气传感器的失效机制(图)
MEMS芯片
气相原位TEM技术
透射电镜
2022/9/22
近日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于
MEMS芯片
的气相原位透射电镜(T
EM
)表征技术,探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在
MEMS
氢气传感器工况条件下的失效机制(图1)。2022年4月13日,相关研究成果作为Suppl
em
entary Cover论文,以In Situ T
EM
Technique Revealing the Deactivation
Me
chanism...
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