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搜索结果: 1-3 共查到半导体器件与技术 MEMS相关记录3条 . 查询时间(0.099 秒)
近日,上海理工大学材料与化学学院王丁团队在MEMS气体传感领域取得重要进展,相关研究成果以“Ultrafast and Parts-per-Billion-Level MEMS Gas Sensors by Hetero Interface Engineering of 2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4 with Enriched Surface Sulfur Vacancie...
振动能量采集器因其可代替电池,收集环境中振动能为IOT设备提供能源,近年来受到广泛关注。而在IOT设备应用的典型场景-工业环境中,高温度及高湿度极端环境无处不在。静电型振动能量采集器内部预充电电荷受极端环境影响容易衰减,这对能量采集器的大规模应用造成极大挑战。针对这一问题,南方科技大学深港微电子学院汪飞副院长率领团队研发了一款基于MEMS技术制造的,集成了硅针尖阵列的电荷可修复型静电能量采集器。当...
RF MEMS开关吸合电压的分析     RF  MEMS  开关       2008/10/22
吸合电压是MEMS静电执行器的重要参数,针对RF MEMS开关,详细分析了开关在不同执行方式下的吸合电压. 对于执行电压是脉冲方式而言,开关梁受迫振动,不同于准静态方式,此时使开关发生吸合的执行电压为动态吸合电压,计算表明比准静态吸合电压小8%. 通过简化的弹性系数和精确的电容计算公式,详细分析了基于CPW的双端固支梁开关的准静态和动态吸合电压. 分析了环境阻尼对动态吸合电压的影响,阻尼使得开关的...

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