搜索结果: 76-85 共查到“仪器科学与技术 MEMS”相关记录85条 . 查询时间(0.093 秒)
MEMS加速度传感器（KA1000）
加速度传感器 MEMS
2008/10/14
该产品是由一块SENSOR芯片与信号调理电路ASIC芯片键合后，封装在金属管壳内的MEMS硅微机械加速度传感器。传感器SENSOR芯片是在Si片上以表面微加工工艺制造而成的梳齿式电容加速度传感器，从SENSOR芯片传出的信号通过信号调理电路ASIC进行调理，ASIC可根据不同的量程范围，调整出对应的灵敏度及偏置，并具有传感器自检、带宽和时钟频率调整等功能。MEMS加速度传感器不仅具有常规MEMS...
MEMS耐高温压力传感器
压力 压力传感器 测量
2008/10/14
该产品采用高能氧离子注入技术制作二氧化硅隔离层，将检测电路与基底隔离开，避免高温下检测电路与基底之间的漏电流问题，解决了常规硅压力传感器120℃产生失效的技术难题；该产品将被测高温流体与硅敏感元件相隔离，避免了被测流体的瞬时高温冲击，解决了瞬时高温冲击的难题；采用钛、铂金耐高温布线系统，解决了高温等恶劣环境下传感器引线的技术难题。该产品属国内首创，国际领先的技术水平，且价格仅为国外同类产品的25%...
基于MEMS的微型六维力/力矩传感器的研究
MEMS 微型六维力 力矩传感器
2008/10/6
这是我国第一台基于MEMS的智能微型六维力/力矩传感器，该传感器基于应变测量原理。优化设计全平面的弹性体结构，基于MEMS进行应变片的全自动粘贴和激光阻值校正。基于表面贴装元件设计信号处理电路，基于DSP实现信号的采集处理和标准数字化输出，所有电路均放置在本体中，实现系统的集成化、微型化、智能化和数字化。基于人工神经网络进行多维传感器的静态解耦，以提高传感器的测量精度。该传感器预计达到国内领先和国...
基于MEMS的微型六维力/力矩传感器
传感器 力矩 六维力
2008/9/18
这是我国第一台基于MEMS的智能微型六维力/力矩传感器，它可以检测作用于传感器上的三维力和三维力矩信息。该传感器基于应变测量原理，利用功能强大的PROMECHANICS优化设计传感器的微型弹性体结构，使弹性体上的应变片位于同一平面上，从而可以基于MEMS进行应变片的全自动粘贴和激光阻值校正。基于表面贴装元件设计高性能的微型信号处理电路，基于微型DSP实现信号的采集、处理和标准数字化输出。该嵌入式的...
基于MEMS技术的微型硅倾角传感器研究
微型硅倾角传感器 数字水平仪
2008/9/18
微型化、集成化、陈列化和多功能化是各类传感器的发展趋势，而MEMS技术则为实现该目标提供了一种及其有效的加工手段。采用MEMS技术中的硅微机械加工技术并结合标准IC工艺，通过合理设计，在同一块硅片上可研制出多个微型倾角传感器。一旦大批量生产，传感器的成本可大大降低，并且该种传感器体积小、重量轻，与信号处理电路配接后即可组装成廉价的便携式数字水平仪，具有很强的市场竞争力。该成果的总体研究思路是：通过...
MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。本文提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅（100）面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥，然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅，就得到了倾斜角度为70.6度的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型，验证了微针具有足够的强度。
新型MEMS湿度传感器
湿度 传感器
2008/9/10
该传感器采用MEMS（微电子机械系统）技术制造，具有互换性好、湿滞小、耐高湿、抗污染、微型化等特点。其适用于湿度测量、控制，如气象、农业、工业自动控制（空调、加湿机、除湿机、温度计）及家用消费类产品等。其主要性能指标包括，工作电压、频率为1.0±0.2VAC，1.0±10%kHz；湿度量程为（不可接露）15%RH～95%RH；湿滞回差＜2%RH（25℃，10%～90%10%RH）；响应时间＜60秒...
基于MEMS加速度传感器的智能输入系统
微机电系统 智能输入 手势识别 KNN算法
2014/5/8
如今在使用大尺寸显示器的PC应用领域，传统输入设备键盘、鼠标以及触摸屏使用的不便已愈加凸显。针对这一问题，本文设计了基于MEMS加速度传感器的智能输入系统，同时也提出了一个新颖的人机交互理念。并且针对系统应用的特点，本文还提出了一种简单而有效的识别算法，以实现对手部动作的识别，从而帮助使用者以更加舒适的肢体语言对PC进行操作。该系统可以很好实现音乐、电影播放，图片、长文档浏览，幻灯片演示等应用的控...
基于MEMS技术的安培酶免疫传感器研究
安培酶免疫传感器 MEMS 聚吡咯 IgG
2008/6/10
该文采用MEMS工艺制备可集成安培酶免疫传感器，用于人免疫球蛋白IgG的检测。该传感器以硅作为基底，铂作为电极，工作电极敏感面积1mm2。SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为μl量级。聚吡咯作为酶与电极之间的电子转移基体聚合于工作电极敏感表面，戊二醛作为交联剂进行抗体(羊抗人IgG)的固定。抗体与酶标抗体(辣根过氧化物酶HRP标羊抗人IgG)对人IgG进行特异性夹心识别，通过检测酶标...