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氩氢体积比对磁控溅射制备AlxOy/PET阻隔膜的影响（Characterization of AlxOy Barrier Films on PET Substrate Prepared by Magnetron Sputtering）
AlxOy/ PET 磁控溅射 阻隔性 力学性能
2010/12/28
采用直流电源，以纯铝为靶，氧气为反应气体，高纯氩气为溅射气体磁控溅射在PET基底上制备高阻隔性AlxOy/PET包装薄膜，并研究不同氩氢体积比对AlxOy薄膜形貌、成分、结构的影响，讨论了镀AlxOy膜后DET力学性能与阻隔性能的变化。FTIR与XPS研究分析表明，反应氧气量直接影响AlxOy薄膜的化学结构，薄膜的红外光谱的峰值、强度和带宽等变化规律均与氧气量有关，并且AlxOy中氧原子的含量...