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中国科学院上海微系统所开发出面向二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆（图）
集成电路 金属 纳米 晶体
2024/8/10
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员狄增峰团队在面向低功耗二维集成电路的单晶金属氧化物栅介质晶圆研制方面取得进展。2024年8月7日，相关研究成果以《面向顶栅结构二维晶体管的单晶金属氧化物栅介质材料》（Single-crystalline metal-oxide dielectrics for top-gate 2D transistors）为题，发表在《自然》（Nature）上。
2023年12月25日，第69届国际电子器件大会（IEDM 2023）在美国旧金山召开。上海微系统所欧欣研究员课题组以口头报告形式发表了题为“Miniaturized Dual-Mode SAW Filters using 6-inch LiNbO3-on-SiC for 5G NR and WiFi 6”的最新研究成果，博士生郑鹏程、张师斌副研究员、华南理工大学徐金旭副教授为本论文共同第一作，张...
300mm大硅片是集成电路制造不可或缺的基础材料，对集成电路产业的发展起着关键支撑作用。针对集成电路制造行业对低氧高阻、近零缺陷等硅片产品的迫切需求，亟需解决大直径、高质量硅单晶晶体生长技术中的氧杂质输运、晶体缺陷调控等基础科学问题，进而开发大直径单晶晶体生长技术，实现特定的晶体杂质、缺陷的人工调控，满足射频、存储等领域的应用需求。
石墨烯材料的可控制备是石墨烯行业的基础，更是石墨烯在下游应用中充分发挥性能优势的关键。在批量制造石墨烯材料的过程中，精确控制石墨烯片层厚度、横向尺寸和化学结构等参数已成为石墨烯在热管理、新能源、纤维等领域应用的瓶颈。鳞片石墨剥离技术是发展最为成熟的石墨烯规模化制备技术之一，该方法已实现石墨烯片层厚度和化学结构的精确控制，但在横向尺寸调控方面仍面临挑战，典型的石墨烯横向尺寸分布在几百纳米到几个微米以...
2022年5月23日，中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室狄增峰研究团队基于锗基石墨烯衬底开发出晶圆级金属电极阵列转印技术，在二维材料与金属电极的大面积无损范德华集成研究方面取得进展。相关工作于2022年5月23日以“Graphene-assisted metal transfer printing for wafer-scale integration of metal e...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所陶虎团队反其道而行，从低电压（几kV）和厚胶（几微米）入手，与上海交通大学夏小霞、钱志刚教授合作，创新开发基因重组蜘蛛丝蛋白光刻胶，通过优化重组蜘蛛丝基因片段和分子量，结合基于百万级数量电子的大规模仿真模拟，实时控制加速电压调控电子在丝蛋白光刻胶里的穿透深度、停留位置和能量吸收峰，实现了分子级别精度的真三维纳米功能器件直写。
周健，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、硕士生导师。主要从事薄膜与微纳器件工艺技术、射频探测器集成技术研究。作为骨干参加863课题，973项目；到目前为止，已在J.J.Applied Physics，Applied Physics A，Physics Letters A等国内外重要刊物上发表论文53篇，其中以第一作者或通讯作者为SCI或EI收集的有16篇。申请24项专利，授权13项，许可...
王长，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师。长期从事半导体太赫兹器件及应用领域研究工作，在半导体太赫兹器件设计、太赫兹高速调制与探测、太赫兹成像等领域取得多项创新性成果。在Physical Review B、Applied Physics Letters等期刊发表了SCI论文40余篇，申请发明专利10余件，获得软件著作权2项，在国内外学术会议做邀请报告10余次。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所等在二维铁磁体系研究中取得进展（图）
二维 铁磁体系 石墨烯 反铁磁耦合
2021/7/29
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室利用高质量的单层石墨烯介导耦合铁磁镍纳米岛，实现了大面积全局二维铁磁体系的制备。
中国科学院上海微系统所在半金属极化子研究方面取得新进展（图）
半金属极化子 复合粒子 固体材料
2021/3/19
上世纪60年代，Lundgvist从理论上预测了固体材料中一种新的复合粒子，由空穴与等离激元的强耦合而产生的等离激元极化子，为凝聚态领域的复杂多体理论拓展了一个重要的研究分支。但是，普通金属中等离激元能量普遍较高（~10 eV），很难直接观测到其在电子结构中形成的独特特征—卫星型能带，这也导致上述理论预言迟迟无法得到实验证实。中科院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室研究员沈大伟、助理研究员刘正...
中国科学院上海微系统与信息技术研究所在氮化硼表面成功制备手性可控的石墨烯纳米带（图）
氮化硼 手性可控 石墨烯 纳米带
2020/9/24
石墨烯纳米带（GNR）是一种准一维的石墨烯纳米结构，根据结构不同可表现出准金属或半导体特性。该特性取决于GNR的手性，具体包括宽度、晶格取向和边缘结构。根据不同的边缘结构，GNR可以分成“锯齿型”（ZZ）和“扶手椅型”（AC）两类。GNR不仅具有高迁移率和载流能力，而且由于量子限域和边缘效应，其能够开启带隙。这些特性使GNR有望成为包括纳米尺度场效应晶体管、自旋电子器件和片内互连线在内的候选材料。...
2020年8月10日Nature Communications在线背靠背发表了三篇对kagome金属性材料CoSn电子结构研究的论文。 [Liu et al., Nat. Commun. 11, 4002 (2002), Yin et al., Nat. Commun. 11, 4003 (2002), Kang et al., Nat. Commun. 11, 4004 (2002)] 三篇论文...
中国科学院超导电子学卓越创新中心、中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室博士董慧团队，与德国于利希研究中心教授Krause课题组合作，将极低场磁共振成像（ULF-MRI）图像中±500Hz带宽内的工频噪声干扰抑制85%以上，解决了无屏蔽或简易屏蔽ULF-MRI成像的固有工频噪声干扰问题，向低成本可移动式MRI系统的实现迈出了坚实的一步。相关研究成果以Adaptive suppr...
表面润湿特性是表面界面科学中的的重要研究内容之一。研究和制备不同性质的浸润性表面，可加深对表面/界面物理的理解，增强各种材料表面的功能性能以及扩展材料的应用范围。中国科学院上海微系统与信息技术研究所无线传感网事业部副研究员周晓峰与香港城市大学副教授王钻开，一直以来在微纳仿生功能表面研究及制造领域保持着紧密的合作关系。日前，上海微系统所无线事业部与香港城市大学、中国石油大学(华东)、英国诺森比亚大学...
近日，《纳米尺度》（Nanoscale）杂志以《六角氮化硼表面石墨烯晶畴边界调控》（Edge Control of Graphene Domains Grown on Hexagonal Boron Nitride）为题，在线刊登了中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室陈令修、王浩敏等科研人员在石墨烯可控生长研究领域取得的重要进展。论文被该杂志选为封底配图文章。理想的石墨烯...