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为保证管道运输安全,需要对管道进行定期维护和检测。采用视觉检测原理,提出了一种基于圆结构光三维视觉检测的管道内表面测量系统。针对管道内表面测量空间受限的约束,基于圆结构光视觉检测原理,提出了视觉传感器的纵向排列结构模式,并搭建了管道内表面圆结构光视觉检测系统。针对圆结构光特点,设计了圆环形平面标定靶标,实现了圆结构光检测系统的标定,并基于该圆结构光视觉检测系统对工业管道内表面进行了三维测量。实验结...
晶圆激光标刻机     晶圆  激光标刻机       2008/9/12
晶圆激光标刻机(Wafer Backside Laser Marking System)通过激光聚焦能源在晶片的背部bare silicon使之聚变,形成了高度少于0.3mm,深度少于5um的标记;采用了最新的高精度线性位置确认和电机减震器,来达到光刻的高精度要求;依据半导体晶圆的生产要求,在传送晶片的过程中,采用了美国先进的机器手,解决了静电干扰及灰尘的沾染问题。该项目在国内首次采用激光光刻设备...

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