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中国科学院合肥物质科学研究院科学岛团队在自限域脱湿机制晶圆级制备纳米金阵列方面取得新进展（图）
纳米 等离 激元 传感
2024/5/17
2024年1月8日，中国科学院合肥物质院固体所在自限域脱湿机制晶圆级制备具有强表面晶格共振效应的纳米金阵列及其等离激元传感应用研究方面取得新进展，相关研究成果发表在 Advanced Science 上。
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种双e型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器
圆二色光谱仪，主要功能及特色：手性化合物的区别和鉴定、构象分析和定性定量分析；金属络合物稳定性和外消旋的研究；生物大分子、蛋白质、DNA/RNA的构象研究；光学活性物质纯度测定；药物定性分析；蛋白质三级结构确定。
中国科学技术大学在基于圆偏振发光的柔性3D显示研究中取得新进展（图）
圆偏振发光 柔性3D显示 智能电子科技
2024/3/21
柔性3D显示在下一代可穿戴、智能电子科技领域具有重要意义。近日，中国科学技术大学庄涛涛研究员课题组和俞书宏院士研究团队在可打印的手性圆偏振发光材料及其柔性3D图像显示应用方面取得重要进展。相关成果以“Processable circularly polarized luminescence material enables flexible stereoscopic 3D imaging”为题发表...
青岛制造！中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪上市（图）
中国首台 产业级 晶圆磁光克尔测量仪
2022/4/11
近日，致真精密仪器(青岛)有限公司(以下简称：致真精密仪器)研制出的中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪正式上市，打破了美国企业在该领域的垄断，标志着磁性芯片量产所需的光学检测设备从此实现自主可控。检测设备的应用贯穿于芯片制造全流程，是保障芯片制造工艺稳定、产品合格的关键。此次上市的产业级晶圆磁光克尔测量仪是用于芯片制造过程中检测的关键设备，经第三方测评，其检测速度和精度均优于国际水平。
圆光栅测角传感器在线自校准系统研制与实验
角度传感器 圆光栅 自校准
2018/3/7
为了解决测角系统在实际应用中的在线校准问题，设计了一种圆光栅测角传感器在线自校准系统。基于圆封闭原则和傅里叶级数的性质，建立了测量值与单读数头误差之间的关系，实现单读数头自校准。该自校准系统由读数头、玻璃圆光栅、单轴转台和多通道采集控制系统组成。实验结果表明，测角传感器自校准系统的单读数头测量精度为±5.90"，接近于借助外部参考标准的谐波补偿方法后的精度，系统测量重复性小于0.76"。自校准测量...
中国科学院上海微系统所等在晶圆级高精度瞬态生物光刻研究中获得进展（图）
中国科学院上海微系统所 晶圆级 高精度 瞬态生物 光刻
2017/9/20
近日，中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室陶虎课题组，联合复旦大学附属华山医院神经外科、江苏科技大学蚕业研究所等研究机构的科研人员，开发出对紫外光敏感且分子量均一的蚕丝蛋白轻链溶液，并基于该溶液，结合传统紫外光刻工艺，实现了晶圆级高精度绿色瞬态生物光刻。相关成果以Precise Protein Photolithography (P3): High Performance Biopatte...
近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心（十室）在传感器晶圆级键合封装技术研发领域取得重要进展，其针对三轴加速度传感器所开发的8英寸Al-Ge共晶圆片级封装技术（WLP）以及配套的减薄和划片技术已通过苏州明皜传感科技有限公司的质量体系考核，采用该系列技术的T4型三轴加速度产品已上市销售。
MEMS器件与传统IC器件相比，往往具有脆弱的可动结构，因此需要在MEMS器件划片与测试前将其保护起来。WL...
为对双循环圆液力缓速器弯叶片叶形参数进行优化设计，搭建叶栅系统优化设计平台。建立缓速器内流道参数化模型，并通过网格独立性研究对仿真模型可信度进行验证。基于三维流场仿真技术，以叶形包角与工作面内外圆弧半径为设计变量，进行试验设计研究，分析设计参数对缓速器制动性能的影响，构建近似模型，采用多岛遗传算法进行全局优化设计，得到最优的设计参数，并对优化前后缓速器内流场特性与制动性能进行对比分析。分析结果表明...
谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装
p谐振式压力传感器 绝缘体上硅（SOI） 阳极键合 真空封装
2014/6/10
为了提高传感器的品质因数，有效保护谐振器，提出了一种基于绝缘体上硅（SOI）-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统（MEMS）压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术（DRIE），分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜；然后，通过氢氟酸缓冲液腐蚀SOI晶圆的二氧化硅层释放可动结构。最后，利用精密机械加工技术在Pyrex玻璃圆片上制作空腔和电连接通...
利用线极化天线快速测量圆极化天线轴比的方法
圆极化天线 线极化 正交分解 轴比
2016/9/1
针对轴比测试需要连续旋转线极化天线极化轴，在高频段旋转关节难以消除高速旋转带来的电缆抖动所引起的幅度和相位不一致性，提出了一种快速、精确测量圆极化天线轴比的测试方法。基于椭圆极化波的正交分解理论，该方法利用线极化天线对待测圆极化天线进行两组正交的线极化幅度测量，通过计算得到圆极化天线的轴比等极化椭圆参数的信息。在此基础上又提出了只用三个线极化分量测量圆极化天线轴比的方法。通过在微波暗室中对圆极化天...
对埋入混凝土中的压电陶瓷圆片模态分析发现，在各阶振动模态下其声辐射面存在分布不同的振幅极大值区域。基于压电埋入式混凝土敏感模块的声指向性和能量实验表明：不同激励频率引起的压电陶瓷圆片不同的振动模态对声指向性和能量有影响；在声指向性理论中将声源振动面等效为振幅相等的单一点声源的叠加，使得在各阶频率下压电陶瓷圆片辐射声指向性变化规律偏离实际较大，而在相同激励频率下声指向性理论结果比实验结果发散；在各阶...
为更加直观地监测轮胎橡胶硫化等生产过程中的工艺参数，弥补现有圆图无纸记录仪的功能缺陷，设计了一款基于嵌入式微处理器S3C2440A和WinCE 6. 0系统的圆图无纸记录仪。该记录仪可根据现场要求改变模拟量和开关量输入输出，最多能够同时检测32通道模拟量输入，通道间采用PHOTOMOS隔离；同时配有CF卡、USB2.0、RS-232、RS-485和以太网等多种接口和触摸屏。该记录仪可通过各种总线形...