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1-1
共查到
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电子技术 DEM
”
相关记录1条 . 查询时间(0.062 秒)
深层刻蚀微电铸微复制(
DEM
)技术研究(图)
深层刻蚀
微电铸
微复制
DEM
2009/2/2
DEM
(深层刻蚀(
Dee
petching)、电铸(Electroforming)、微复制(Microreplication)的英文简写)技术是由我们提出的一种非硅三维微加工新技术,该技术设想用深层刻蚀工艺来取代LIGA 技术中的同步辐射X 光深层光刻工艺,从而达到降低加工成本,缩短加工周期的目的。该微加工技术如能获得成功,可为微型机电系统(M
EM
S)的研究提供新的微加工手段,使我国在非硅材料的微加...
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