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中国科学院合肥物质科学研究院科学岛团队在自限域脱湿机制晶圆级制备纳米金阵列方面取得新进展（图）
纳米 等离 激元 传感
2024/5/17
2024年1月8日，中国科学院合肥物质院固体所在自限域脱湿机制晶圆级制备具有强表面晶格共振效应的纳米金阵列及其等离激元传感应用研究方面取得新进展，相关研究成果发表在 Advanced Science 上。
中国科学技术大学在基于圆偏振发光的柔性3D显示研究中取得新进展（图）
圆偏振发光 柔性3D显示 智能电子科技
2024/3/21
柔性3D显示在下一代可穿戴、智能电子科技领域具有重要意义。近日，中国科学技术大学庄涛涛研究员课题组和俞书宏院士研究团队在可打印的手性圆偏振发光材料及其柔性3D图像显示应用方面取得重要进展。相关成果以“Processable circularly polarized luminescence material enables flexible stereoscopic 3D imaging”为题发表...
青岛制造！中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪上市（图）
中国首台 产业级 晶圆磁光克尔测量仪
2022/4/11
近日，致真精密仪器(青岛)有限公司(以下简称：致真精密仪器)研制出的中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪正式上市，打破了美国企业在该领域的垄断，标志着磁性芯片量产所需的光学检测设备从此实现自主可控。检测设备的应用贯穿于芯片制造全流程，是保障芯片制造工艺稳定、产品合格的关键。此次上市的产业级晶圆磁光克尔测量仪是用于芯片制造过程中检测的关键设备，经第三方测评，其检测速度和精度均优于国际水平。
中国科学院上海微系统所等在晶圆级高精度瞬态生物光刻研究中获得进展（图）
中国科学院上海微系统所 晶圆级 高精度 瞬态生物 光刻
2017/9/20
近日，中国科学院上海微系统所传感技术国家重点实验室陶虎课题组，联合复旦大学附属华山医院神经外科、江苏科技大学蚕业研究所等研究机构的科研人员，开发出对紫外光敏感且分子量均一的蚕丝蛋白轻链溶液，并基于该溶液，结合传统紫外光刻工艺，实现了晶圆级高精度绿色瞬态生物光刻。相关成果以Precise Protein Photolithography (P3): High Performance Biopatte...
近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心（十室）在传感器晶圆级键合封装技术研发领域取得重要进展，其针对三轴加速度传感器所开发的8英寸Al-Ge共晶圆片级封装技术（WLP）以及配套的减薄和划片技术已通过苏州明皜传感科技有限公司的质量体系考核，采用该系列技术的T4型三轴加速度产品已上市销售。
MEMS器件与传统IC器件相比，往往具有脆弱的可动结构，因此需要在MEMS器件划片与测试前将其保护起来。WL...
8寸晶圆显微镜检测系统在京诞生
8寸晶圆显微镜检测系统 诞生
2009/6/8
日前，8寸晶圆显微镜检测系统经6个月的研发，在北京自动化技术研究院大兴工业基地诞生，这是继大气型硅片专用机械手和wafer loader后的又一款新型机械手。这项技术完全由自动化院自主研发、自行生产。整个系统由传输装置、宏观检查装置和显微放大装置组成，内部系统则是由第三代控制软件来实现。