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青岛制造！中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪上市（图）
中国首台 产业级 晶圆磁光克尔测量仪
2022/4/11
近日，致真精密仪器(青岛)有限公司(以下简称：致真精密仪器)研制出的中国首台产业级晶圆磁光克尔测量仪正式上市，打破了美国企业在该领域的垄断，标志着磁性芯片量产所需的光学检测设备从此实现自主可控。检测设备的应用贯穿于芯片制造全流程，是保障芯片制造工艺稳定、产品合格的关键。此次上市的产业级晶圆磁光克尔测量仪是用于芯片制造过程中检测的关键设备，经第三方测评，其检测速度和精度均优于国际水平。