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全球第三大晶圆代工厂设立半导体设备学院
晶圆代工厂 半导体设备学院 半导体
2022/10/17
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2020年7月,西安电子科技大学微电子学院关于硅与氮化镓异质集成芯片论文在国际半导体器件权威期刊IEEE Transactions on Electron Devices上发表,郝跃院士团队的张家祺博士和张苇杭博士为本论文的共同第一作者,张春福教授为论文的通讯作者。国际半导体行业著名杂志《Semiconductor Today》及时对成果进行了跟踪报道,受到国内外业界的关注。
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最近,国际期刊《纳米快报》(Nano Letters, DOI: 10.1021/acs.nanolett.8b04561)报道了中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室研究员赵建华团队与合作者在晶圆级高质量InAs纳米结构维度调控方面的最新研究成果。
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半导体所在MEMS器件低成本圆片级低温键合方法的研究方面取得重要进展(图)
封装 研究方面
2011/11/7
封装是微纳机电系统(MEMS/NEMS)产业化前最后的但决定器件成败的最关键的一步加工技术,最近几年已经引起了越来越多的关注。当前国际上MEMS/NEMS较为成熟的封装工艺为键合工艺,几个发展比较成熟的键合都需要在高温条件下进行。高温会对MEMS传感器产生不良的影响,造成器件不稳定甚至失效。因此,急需开发适用于MEMS传感器的低温键合工艺。近几年,随着生化传感器和射频器件的快速发展,对低温键合封装...