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搜索结果: 1-2 共查到知识要闻 控制科学与技术 MEMS相关记录2条 . 查询时间(0.031 秒)
哈尔滨工业大学学报2007年1月29日讯:由哈尔滨工业大学机器人研究所孙立宁教授主持完成的“面向MEMS组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目于日前通过了技术鉴定,鉴定委员会由7名国内知名MEMS专家组成,王立鼎院士担任鉴定委员会主任。该项成果针对MEMS小批量、多品种的特点,采用光、机、电及工艺系统集成技术,研制出具有自主知识产权的MEMS批量组装设备、MEMS自动引线键合设备和硅片键合强度...
中国有色金属科技信息网2005年12月19日讯 日前,由清华大学承担的“非硅MEMS交叉融合加工技术”课题,通过了由863计划先进制造与自动化技术领域组织的专家验收。课题组利用非硅MEMS加工工艺方法,以金属合金材料为加工对象,以工业精密功能构件中的阵列微细喷射型孔和特殊微小型齿轮及其机构的制作为目标,提出了微塑性变形加工和微细电火花加工交叉融合的非硅MEMS加工技术。

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