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东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室 微电子学
2022/5/7
东南大学1983年开始集成传感器的研究,并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERC¢85,Germany, p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果;1986年开始了硅片直接键合技术研究,并于1987年在《Applied Surface Science,30(2),397(1987)》报道了硅键合材料的测试结果;1987年开始了微传感器CAD研究,并于1988年在《Solid St...