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硅纳米线的固-液-固热生长及升温特性研究
硅纳米线 SLS生长机制 升温特性
2009/5/5
该文报道一种直接在硅片上热生长硅纳米线的新方法。与传统的VLS生长机制不同,该方法在生长硅纳米线的过程中没有引入任何气态或液态硅源.是一种全新的固—液—固(SLS)生长机制。实验中使用了Ni,Au等金属作为催化剂,由Ar,H2等作为载流气体.系统压强为2.5×104Pa,生长温度为950-1000℃.生长出的硅纳米线表面光滑,呈纯非晶态,直径为10-40 nm,长度可达数十微米,升温特性对硅纳米线...
基于MATLAB的电液伺服系统自适应模糊PID仿真
MATLAB 电液比例阀 自适应模糊 PID控制
2008/12/11
将自适应模糊PID的控制方法应用于电液伺服控制系统中,通过使用MATLAB的FUZZY工具箱对系统建模和仿真计算,并可根据仿真结果在线调整PID参数,对系统进行校正．这种自适应模糊PID控制相比于常规的PID控制,可以改善被控过程的稳态和动态性能,提高系统控制精度、抗干扰能力,以及对参数时变的适应能力,最终实现高效的系统开发．
自适应数字式电液比例技术
电液比例 四差滞环误差
2008/12/1
该技术采用高频脉宽调制与调频复合调制方式，使颤振频率与幅度可分别独立调节，最高调制频率达20KHz。所提出并采用的自学习四差滞环校正算法，能极有效地减少电液比例元件的四差滞环误差。
超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平米面化抛光液
化学机械 集成电路 抛光液
2008/10/30
该发明属于一种抛光液，特别设计一种超大规模集成电路多层同步先用化学机械全局平面化抛光液。随着电子技术的发展，超大规模集成电路芯片集成度已高达几十个亿个元件，特征尺寸已进入纳米级，这就要求微电子工艺中的近百道工序，尤其是多层步险、沉底、介质必须进行化学机械全局平面化，而化学机械抛光已被证明是尊号的平整方法，为保证铜步线与介质的选择性，目前超大规模集成电路芯片多层不线，抛光后的铜离子及表面吸附物易...
发动机冷却液温度模糊控制系统的研究
温度控制 冷却系统 发动机 模糊控制
2012/4/14
提出了发动机冷却液温度的模糊控制方法，将冷却液温度进行模糊化，根据实验建立了相应的模糊控制规则库；应用MATLAB软件的模糊逻辑工具，计算分析得到了控制查询表，建立了以Motorola单片机MC68HC908LJ12为核心的硬件系统，并对软件进行了设计。试验表明，该方法只需对现有的发动机冷却系统进行较少的改进，便可较好地解决发动机的冷却液温度难于准确控制的问题。
制备锑化镓基半导体器件用的化学腐蚀液体系（中科院）
锑化物 光电器件 化学刻蚀
2008/8/22
本发明研发了制备锑化镓基半导体器件用的新化学腐蚀液，它包括盐酸系、氢氟酸系和酒石酸盐系三种体系。盐酸系腐蚀液组成为盐酸、酒石酸和水；氢氟酸系腐蚀液组成为氢氟酸、酒石酸和双氧水；酒石酸盐系腐蚀液组成为酒石酸钾钠、盐酸和双氧水。这三种腐蚀液具有不破坏光刻胶掩膜，腐蚀速率适中可控(小于1μm/min)，与器件工艺兼容等特点，能应用于GaSb、AlGaAsSb、InGaAsSb等二元和四元系Ⅲ-Ⅴ族锑化物...
用于电流变液控制的高压快速开关电路
电流变液控制 光耦隔离 高压开关电路
2008/8/13
该项目发明了一种用于电流变液控制的高压快速开关电路。该电路包括光耦隔离，电压比较，电流放大，反相电路，脉冲变压器隔离电路和开关晶体管电路。该发明的突出优点是可以随控制信号的变化，满足快速响应性，电压幅值连续调节性，控制信号还可直接接受计算机的控制信号，可以输出0～2000伏的脉冲电压，电流可达2A。该产品可以广泛用于电流变液体的研究应用领域及对高电压有快速开关脉冲控制要求的其他技术领域。