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采用等离子体基离子注氧技术(O2-PBII)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理, 实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、 20、 30 kV, 离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入; 用XPS对离子注氧层的深度、 成分及化学结构进行了系统的分析。结果表明: 随着注入离子能量的增加, Ti6Al4V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO2组成,外...