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1-1
共查到
“
知识库 粒子加速器 ZnO
”
相关记录1条 . 查询时间(0.074 秒)
退火及超声处理对
ZnO
薄膜结构和发光特性的影响
ZnO薄膜
退火处理
超声处理
光致发光
对向靶
磁控溅射
2008/7/30
利用对向靶射频磁控溅射系统在Si(100)衬底上制备了
ZnO
薄膜,并对其进行了退火和超声处理。采用XRD,AFM和光致发光谱对其结构、表面形貌和性能进行了分析。结果表明:沉积态
ZnO
薄膜(002)择优取向稍差,尺寸较小,表面粗糙度较大。随退火温度的升高,颗粒粒径增大,样品的取向性和结晶度都明显变好,应力状态由压应力转变为张应力,粗糙度降低。超声处理缓解了薄膜中的张应力,晶粒尺寸更趋增大;用波长为2...
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