搜索结果: 1-15 共查到“光学工程 准分子激光”相关记录47条 . 查询时间(0.169 秒)
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
中国科学院合肥物质科学研究院专利：基于FPGA的准分子激光器全固化电源的同步系统
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种双腔准分子激光器的同步控制系统
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种利用准分子激光提高柔性AZO薄膜光电性能的方法
中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所激光技术中心研究员方晓东课题组在利用准分子激光技术提升钙钛矿太阳电池（Perovskite solar cells，以下简称PSCs）性能研究方面取得新进展。PSCs自2009年被首次报道以来发展迅速，目前其光电转换效率已超越多晶硅太阳电池，达到了24.2%，极具应用前景。PSCs的光吸收层有机无机杂化钙钛矿薄膜通常采用溶液方法在低温（＜150℃）...
连续分振幅式高功率准分子激光角多路编码光路设计
激光光学 准分子激光 角多路技术 编码
2016/9/5
在高功率准分子激光系统中,一般采用光学角多路技术来获得高能量窄脉冲输出。文中介绍了角多路技术原理,提出了一种采用矩形阵列和空间层叠光路结构的连续分振幅两次编码方式,并针对该实验室的XeCl高功率准分子激光系统进行了具体的编码光路设计,给出了设计实例。该方法具有编码结构紧凑,编码精度高,与光路准直、激光参数测量系统等兼容性好,便于加工制作和安装调节等优点,目前已在系统中应用,效果良好。
248 nm的KrF准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化激光器的性能;并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算。该准分子激光器的重复频率为1～50 Hz,最高输出效率达2.0%,单...
为延长稀有气体卤化物准分子激光器工作气体使用寿命,在原有供气设备基础上增加了工作气体实时补给技术.该技术采用FPGA控制系统将逐步提高放电电压、补充卤素气体和更换部分混合气体等操作有效组合起来.随着激光脉冲能量的下降,逐步提高放电电压;当放电电压达到最大值时,开始补充卤素气体,并恢复放电电压;当补充卤素气体效果不明显时,更换部分混合工作气体.将该技术应用于医用型ArF准分子激光器中进行实验研究,结...
基于荧光成像的准分子激光系统多路光束自动准直
自动准直 荧光成像 区域分割 可调谐放大
2015/12/23
研究了基于准直光束成像的准分子激光主振荡功率放大(MOPA)系统的多路光束自动准直, 实现了激光在放大器中的多程放大及高的靶面指向精度。采用352 nm He-Cd激光作为准直光源, 提出了多光束感光屏同步接收与可见光CCD荧光成像相结合的复合图像采集技术, 解决了自动准直系统多路激光的近场、远场图像获取问题。利用图像区域分割处理方法编制了准直信息处理软件, 实现了对多光束的自动准直闭环反馈控制。...
光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析
放大机制 准分子激光器 脉冲能量稳定性 气体成分
2016/8/26
以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点.着重阐述了放电腔内工作气体成分、配比、电极间流速对脉冲能量稳定性的影响以及相应的改善措施,并结合影响脉冲能量稳定性的因素简述能量控制系统在稳定脉冲能量上的应用.
为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术。
基于准分子激光器火焰中OH自由基测量技术研究
ＸｅＣｌ准分子激光器 ｅｔａｌｏｎｉｎｇ光谱结构； ＯＨ 自由基
2012/12/5
介绍了利用ＸｅＣｌ准分子激光器作为光源，测量酒精喷灯火焰中ＯＨ 自由基浓度的实验方法与结果分析。以ＸｅＣｌ准分子激光器作为光源，采用Ｈｅｒｒｉｏｔｔ结构多次反射池扩展光程至２５６０ｍ，利用酒精喷灯作为ＯＨ 自由基发生器，使用光谱分辨率为３．３ｐｍ的高分辨中阶梯光栅光谱仪作为光谱采集系统。详细描述了应用不包含ｅｔａｌｏｎｉｎｇ结构的ＸｅＣｌ准分子激光器作为光源的原因，如何去除ＸｅＣｌ准分子激光器反应...
考虑高功率准分子激光系统的自发辐射放大（ASE）会导致主脉冲信号对比度下降，引起波形展宽和畸变，本文开展了级联双电光开关的研究来抑制ASE的产生并提高激光脉冲信号的信号对比度。探讨了电光开关的级联工作模式，分析了影响电光开关削波对比度的因素，进而提出采用级联工作方式来大幅度地提高削波对比度。在单电光开关的基础上，设计了级联电光削波的光路布局。其中，前一级电光开关的检偏器作为后一级的起偏器，电路则采...